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20. 半导体工艺-电子束光刻 (2)
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著者

1. 《新编中国半导体器件数据手册》编委会编 (6)
2. 上海科学技术情报研究所 (4)
3. 新编中国半导体器件数据手册编委会 (3)
4. 毕克允 (3)
5. 毕克允主编 (3)
6. 电子工业部半导体专业情报网 (3)
7. 电子工业部半导体专业情报网编 (3)
8. (美)a.s.格罗夫著 (2)
9. 上海无线电七厂 (2)
10. 上海无线电七厂,上海科学技术情报研究所编译 (2)
11. 上海科学技术情报研究所编辑 (2)
12. 中国科学技术情报研究所 (2)
13. 中国科学技术情报研究所重庆分所编辑 (2)
14. 仓田卫 (2)
15. 刘国维 (2)
16. 屈宗明 (2)
17. 庞振泰 (2)
18. 庞振泰等译 (2)
19. 张光华 (2)
20. 张安康 (2)
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出版日期

1. 1986 (12)
2. 1977 (7)
3. 1985 (7)
4. 1980 (6)
5. 1981 (6)
6. 1992 (6)
7. 1979 (5)
8. 1982 (5)
9. 1983 (5)
10. 1991 (4)
11. 1989 (3)
12. 1995 (3)
13. 1997 (3)
14. 1998 (3)
15. 1975 (2)
16. 1976 (2)
17. 2015 (2)
18. 2018 (2)
19. 1978 (1)
20. 1984 (1)
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文献类型

1. 图书 (89)
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语言种类

1. 汉语 (89)
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